Et av høye nivåer nikkelmål på høyt nivå

A Nikkelmålog produksjonsprosess, inkludert kald rulling, vakuumvarmebehandling med høy temperatur, ammoniakk -atmosfærebeskyttelsesvarmebehandling, initial rulling, sveising, etterbehandlingsrulling, annealing og andre prosesser; Produksjonsprosessen for den foreliggende oppfinnelse har ikke høye temperaturprosesser som smelte og varm rulling, og det er ingen høyforurensningsprosesser som sylting og alkalivask. Derfor, sammenlignet med den tradisjonelle prosessen, reduseres energiforbruket med 30%, metalltapet reduseres med 50%, engangsproduktutbyttet økes med mer enn 10%, den omfattende utnyttelsesgraden på ressurser er høy, og det er miljøvennlig; Prosessmetoden er enkel og enkel å betjene, noe som effektivt kan sikre renheten til det elektrolytiske nikkelarket, forbedre de omfattende mekaniske og fysiske egenskapene til det elektrolytiske nikkelarket, og kan erstatte den eksisterende nikkelmålsmelting og varm rullende produksjonsprosess, som er egnet for industriell produksjon.

1.En metode for å danne nikkel silicid. Metoden kan omfatte: avsetning av et første metalllag (105) og et andre metalllag (106) på minst en av porten, kilde- og avløpsregionene til en felt-effekt-transistor (FET) (100) gjennom en fysisk dampavsetning (PVD) -prosess, hvor det første metalllaget (105) er avsatt på det første metalllaget ved å bruke en førsteNikkelmålInneholder platina (PT), og det andre metalllaget (106) blir avsatt på det første metalllaget ved å bruke et andre nikkelmål, inneholder det andre nikkelmålet ikke platina eller inneholder mindre enn platina enn det første nikkelmålet; og annealing av det første metalllaget og det andre metalllaget som dekker FET for å danne et nikkel -silicidlag som inneholder platina på toppoverflaten av porten, kilden og avløpsregionene (107).

Populære tags: Et av høye nivåer nikkelmål, Kina, en av produsentene av høyt nivå av nikkelmål, leverandører, fabrikk, fabrikk